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MEMS压力传感器理论与技术

MEMS压力传感器理论与技术

定  价:99 元

        

  • 作者:蒋庄德等著
  • 出版时间:2023/8/1
  • ISBN:9787040604689
  • 出 版 社:高等教育出版社
  • 中图法分类:TP212 
  • 页码:
  • 纸张:胶版纸
  • 版次:
  • 开本:16开
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微机电系统(MEMS)具有尺寸微小、片内集成、批量制造、材料宽泛的技术特征,因而成为先进传感器技术的主流发展方向。微型化、智能化和网络化的压力传感器在高端装备、智能制造、机器人、物联网等新兴领域具有很大的应用潜力。 本书将作者团队多年来在该领域的科研积累融为一炉,从相关基础理论出发,论述了MEMS压力传感器的主流工艺、器件静动态测试、芯片电路等关键技术,并详细讨论了多种原创、特种、高端的MEMS压力传感器件,对我国MEMS压力传感器的科研和产业发展将产生巨大的推动作用。本书适合MEMS及传感器领域的研究生、高年级本科生以及广大科研人员阅读和参考。

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