气体与湿度传感器MEMS技术及应用

定　　价：148 元

• 作者：汪飞等编著
• 出版时间：2024/7/1
• ISBN：9787118134032
• 出 版 社：国防工业出版社

• 中图法分类：TP212 
• 页码：346页
• 版次：1
• 开本：24cm

内容简介

本分册为丛书的专业分册，本分册重点讲述气体和湿度传感器设计制作的基本原理、方法及其应用。全书将气体和湿度传感技术分为三个方面：基础原理、器件分类以及微系统应用。本书首先阐述了气体和湿度传感器的基本概念，包括工作原理与结构、主要性能参数、机理研究方法等；结合前沿研究进展介绍了气体和湿度敏感材料的合成方法与表征技术，以及不同纳米结构的敏感效应；从表面加工工艺与体硅加工工艺两方面介绍了气体和湿度传感器的关键MEMS工艺；在此基础上分类介绍了多种气体及湿度传感器包括半导体原理、电化学原理、光学原理等，针对每种器件从基础原理、结构特点、工艺与性能参数等方面展开了详细介绍；最后结合国防应用特点，列举了气体和湿度传感器在航空航天、地面武装及海洋装备等领域的应用实例。