微机电系统(MEMS)技术的发展突飞猛进，涵盖的领域日渐宽广，市场前景及对国民经济的影响日益广阔，人们对其原理、特性及规律的研究和认识也日趋深入。微机电系统的特征尺寸在微纳米范围，尺度上存在特殊性。但它并不是宏观机电系统的简单缩小，更不是微电子技术的简单外延。在微纳米尺度范围内，微结构的力学行为并不完全相似于宏观的结构，微机械的运动也并不完全相似于宏观的机械。材料本身的特性在微纳米尺度下也出现了新的值得探索的状况和问题。事实上，微机电系统技术的难度核心主要不是表现在微电子方面，而是表现在微机械或微结构方面，表现在微机械(或微结构)与微电子的有机结合方面。微机械的运动、微结构的变形、电子与机械的能量转换、微系统的智能控制等都是微机电系统的技术核心。而微机械的运动、微结构的变形、机械与电子的能量转换、微系统的智能控制等却更多地依赖于所处的力学环境。从力学的角度看，微纳米尺度下的力学环境相对于宏观尺度已发生了很大的变化。任何在宏观系统中认为微不足道的因素都有可能成为微机电系统中的重要因素。因此，就当前的科技发展水平，系统地阐述微纳米尺度下的力学特性、力学行为和力学规律是很必要的。
高世桥，1961年6月生，博士，教授，博士生导师，享受国务院津贴，德国洪堡基金获得者。现任教于北京理工大学宇航科学技术学院，从事非线性结构动力学、冲击动力学及微机电技术研究。先后在国际、的重要学术刊物上发表论文80余篇。获多项国家、省部级奖。
符号说明
绪论
第1章 微机电系统的发展与力学
1.1微机电系统的起源
1.2微机电系统的定义与内涵
1.3微机电系统的特点
1.4微机电系统的发展
1.5微机电系统的材料和微加工技术
1.6商品化的趋势
1.7微机电系统对力学的需求
第2章物理基本力
2.1物质的构成
2.2物理基本力
2.3基本力的作用行程
2.4微机电系统中的力
第3章静电力
3.1库仑定律
3.2电场、电场强度
3.3 电势
3.4电偶极子
3.4.1 电偶极子的电场
3.4.2 电偶极子电场的电势
3.5电多极子与电势的多极展开
3.5.1 单极子项
3.5.2偶极子项
3.5.3 四板子项
第4章电—磁力
4.1 洛仑兹力
4.1.1 带电粒子在均匀磁场中的运动
4.1.2带电粒子在非均匀磁场中的运动
4.2安培力
4.2.1安培力的定义
4.2.2安培力的微观解释
4.2.3 栽流导线在磁场中所受到的磁力
4.2.4载流线圈在磁场中所受到的磁力矩
4.2.5平行载流导线间的相互作用力
第5章范德瓦尔斯力
5.1偶极子产生的电场
5.2离子与偶极子间的相互作用能及作用力
5.3偶极—偶极相互作用
5.4角平均的偶极相互作用
5.5偶极—诱导偶极相互作用
5.6伦敦(IJ0ndon)—范德瓦尔斯(色散)力
5.7分子问总的范德瓦尔斯相互作用
5.8物体间的范德瓦尔斯力
第6章卡西米尔力
6.1卡西米尔力提出的背景
6.1.1“零点能量”及卡西米尔力的探索
6.1.2卡西米尔效应的进一步研究
6.2卡西米尔力
6.2.1 卡西米尔力
6.2.2卡西米尔效应
6.2.3卡西米尔力的量子力学阐释
第7章微结构静电场及电场力
第8章毛细力
第9章布朗力与噪声
0章阻尼力
1章作用力的尺度效应和行程效应
2章结构力学的微尺度效应
3章微机械谐振陀螺的动力学特性
参考文献
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