微机电系统（第2版）

定　　价：69 元

• 作者：苑伟政 乔大勇 虞益挺
• 出版时间：2021/6/1
• ISBN：9787561276761
• 出 版 社：西北工业大学出版社

• 中图法分类：TH-39 
• 版次：1
• 开本：16开

内容简介

本书是在第一版的基础上修订而成，结合微机电系统领域的研究成果编著而成的。全书共分为六章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面，《普通高等教育“十一五”规划教材：微机电系统》结合大量工艺实例，易于学生理解，有助于提高其动手能力；对各种典型微机电器件的介绍，大部分来源于实验室的课题研究实例，内容充实新颖。 　　本书可以作为本科生和研究生学习微机电系统的教材使用，还可以作为工程技术等专业人员的参考手册。

作者介绍

苑伟政：西北工业大学教授，博士生导师，机电学院院长；教育部“长江学者”特聘教授，国际知名的MEMS与微纳制造学科带头人，第25届世界微机械峰会主席；兼任中国微纳米技术学会会士，中国机械工程学会常务理事，中国微纳执行器与微系统学会理事长等，为中央军委科技委领域专家委员会委员、教育部科技委先进制造学部委员。主要从事微机电系统以及微纳制造方面的研究。