精密纳米计量学

定　　价：98 元

• 作者：(日)Wei Gao著
• 出版时间：2022/4/1
• ISBN：9787118124668
• 出 版 社：国防工业出版社

• 中图法分类：TB383 
• 页码：243页
• 开本：24cm

内容简介

本书全面系统地介绍了精密纳米计量的相关知识，重点讲述了精密纳米制造中测量角度和位移的光学传感器，提出了改善传感器灵敏度和带宽，减小传感器尺寸的技术，并开发了新的多轴传感方法；同时，详细介绍了精密纳米计量中用于表面形状和平台运动的扫描型测量系统，阐述了纳米制造中最基本的几何形状的测量误差分离算法和系统；最后对微观非球面的测量，纳米制造中微纳结构的精密纳米计量，以及长结构的微观尺寸的快速、准确测量等进行了介绍。