电容式微机械陀螺仪设计

定　　价：22 元

• 作者：李锦明
• 出版时间：2008/6/1
• ISBN：9787118045853
• 出 版 社：国防工业出版社

• 中图法分类：TH202 
• 版次：1
• 开本：32开

内容简介

本书系统地介绍了电容式微机械陀螺的结构设计、基于表面加工wafer级真空封装工艺，着重分析了陀螺仪中闭环自振荡方法、角速率信号解调算法及电路实现，最后对微机械陀螺振荡品质因子、分辨率、工作带宽、灵敏度和线性度等关键参数的测试方法作了详细的分析和阐述。 本书可供高等院校有关专业作为研究生教材或参考书，也可供科研人员和工程技术人员作为技术参考书。