项目一硅片加工工艺概述
任务一认识硅材料的基本性能
任务二硅片加工工艺流程
任务三切片工艺岗位技能要求
项目二单晶截断工艺
任务一单晶硅棒截断
任务二单晶样片检测
项目三单晶硅棒与多晶硅锭开方工艺
任务一认识开方机的原理与结构
任务二单晶硅开方
任务三多晶硅开方
项目四单晶硅块磨面与滚圆工艺
任务一单晶硅块磨面
任务二单晶硅块滚圆
项目五多晶硅块截断、磨面及倒角工艺
项目一硅片加工工艺概述
任务一认识硅材料的基本性能
任务二硅片加工工艺流程
任务三切片工艺岗位技能要求
项目二单晶截断工艺
任务一单晶硅棒截断
任务二单晶样片检测
项目三单晶硅棒与多晶硅锭开方工艺
任务一认识开方机的原理与结构
任务二单晶硅开方
任务三多晶硅开方
项目四单晶硅块磨面与滚圆工艺
任务一单晶硅块磨面
任务二单晶硅块滚圆
项目五多晶硅块截断、磨面及倒角工艺
任务一多晶硅块截断
任务二多晶硅块磨面
任务三多晶硅块倒角
项目六多线切片工艺
任务一晶硅多线切割工艺
任务二切割液的配置与使用
任务三硅块粘胶
任务四多线切割
任务五废线切割工艺
任务六多线切割机的维护保养
任务七切片过程中异常问题处理
任务八切片参数讨论及改进
项目七硅片清洗工艺
任务一作业准备
任务二硅片预清洗
任务三硅片脱胶
任务四硅片插片
任务五硅片清洗
任务六硅片化学清洗机理分析
任务七清洗机的维护与保养
任务八硅片甩干
项目八硅片检测及包装
任务一熟悉硅片检测分级标准
任务二硅片检测
任务三硅片包装
参考文献