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低温等离子体诊断原理与技术 读者对象:随着低温等离子体技术的快速发展和广泛应用,人们需要更好地了解低温等离子体诊断的基础知识及相关技术。本书写作的目的就是为将要进入这些领域工作的研究生、本科生以及新进入的技术人员提供低温等离子体诊断技术及其应用的基本知识
本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程,到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用,较全面地介绍了低温等离子体诊断的基础知识,总结了该领域近年来的一些新进展,提供了低温等离子体诊断应用的实例。
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